东方晶源微（北京）申请多通道探测器、探测器成像系统以及探测器成像方法专利，能够有效区分不同角度的二次电子所携带的形貌信息，提高二次电子的成像质量

2024年8月21日消息，天眼查知识产权信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司申请一项名为“多通道探测器、探测器成像系统以及探测器成像方法“，公开号 CN202410456158.3，申请日期为 2024 年 4 月。

专利摘要显示，本申请提供一种多通道探测器、探测器成像系统以及探测器成像方法，该多通道探测器包括：包括闪烁体模块、多个光电组件以及信号处理模块；闪烁体模块包括多个探测区，探测区设置为在上电时用于接收样品表面反射的预设角度范围内的二次电子，以生成对应的探测光信号；每个光电组件用于接收对应的一个探测区生成的所述探测光信号，并将探测光信号转换为初始探测电信号；信号处理模块与每个光电组件相连，用于根据使能信号和控制信号对接收到的初始探测电信号进行信号处理，以得到目标探测电信号。如此，可以能够有效区分不同角度的二次电子所携带的形貌信息，提高二次电子的成像质量，克服单通道探测器成像的缺陷。